Высоковакуумные насосы

Сверхвысоковакуумные насосы разработаны специально для использования в промышленности и науке и идеально подходят в качестве встраиваемой техники в приборостроении. Позволяют создавать вакуум порядка 10-11 мбар и более, выпускаются в большом диапазоне производительности от 0,4 до 2000 л/с.

Серия NEXTorr

Насосы NEXTorr комбинируют в удобной конструкции технологии нераспыляющих геттерных (НРГ) насосов и ионных насосов. В конструкции NEXTorr НРГ насос объединен с ионным насосом сравнительно малого размера. Геттерный элемент обеспечивает очень высокую скорость и производительность откачивания и действует как основной насос активных газов, оставляя ионному насосу задачу удаления редких газов и метана, не откачиваемых НРГ насосом. За счет очень малого процентного содержания метана и редких газов в газовом составе УВВ/СВВ систем, как правило, с преобладанием водорода и содержащих кислород газов, от ионного насоса требуется совсем невысокая скорость откачивания. Кроме того, ионный насос предоставляет показания давления, которые могут использоваться для контроля вакуума и хода выполнения процесса. Этот подход полностью устраняет основные ограничения в использовании НРГ насосов, предлагая в компактной конструкции высококлассный продукт в показателях скорости и производительности откачивания, потребляемой мощности и надежности.